Врсте силицијум нитрида

Врсте силицијум нитрида
Пошто својства материјала у великој мери зависе од методе производње, силицијум нитрид се не може сматрати појединачним материјалом. Три главне врсте силицијум нитрида су:

Реакционо везан силицијум нитрид (РБСН)
Вруће пресовани силицијум нитрид (ХПСН)
Синтеровани силицијум нитриди (ССН)
Реакционо везан силицијум нитрид се добија директном нитридацијом збијеног силицијумског праха, а због тешкоће обезбеђивања потпуне реакције тешко је постићи високу густину компоненти. Уобичајене густине су у опсегу 2300 - 2700кг.м-3 у поређењу са 3200кг.м-3 за топло пресовани и синтеровани силицијум нитрид. Већа густина даје ХПСН и ССН материјалима боља физичка својства и значи да се користе у захтевнијим апликацијама. Нитридација производи само малу промену запремине, што значи да РБСН компоненте не морају да се обрађују после производње и да се сложени облици близу мреже могу произвести у једној фази процеса.